静电卡盘产业:专利质量有待提升

 　随着二氧化碳和大气污染物排放的日益增多，“绿色照明”理念应运而生。其中，LED照明具有耗电低、能源转化效率高、寿命长、体积小、抗震动、易维护等诸多优点，成为照明史上继白炽灯、荧光灯、高压气体放电灯之后的又一重大技术突破。

　　在LED照明产品的制造环节，金属有机化合物气相沉积（MOCVD）设备是主要的生产设备，而静电卡盘则是MOCVD设备的重要零部件，起着固定和支撑晶片的作用。静电卡盘采用静电引力固定晶片，相对于机械卡盘和真空吸盘，具有很多优势。

　　为了解静电卡盘的技术研发情况，笔者在中国专利检索数据库进行了专利文献检索，检索日期截至2015年5月31日。随后，笔者对静电卡盘领域的年专利申请量变化、专利申请人情况等进行了统计分析，以期为我国静电卡盘行业的发展和专利布局提供借鉴。

　　笔者进行中国专利文献检索发现，2002年至2014年，申请人在该领域共提交了155件专利申请。2005年之前，该领域的专利申请量较少，且全部为国外申请人提交的专利申请。国外申请人在中国的专利布局起步早，但专利申请数量并不多。2005年，该领域的专利申请量最多，达到21件；2005年至2012年，该领域每年的专利申请量维持在9件至21件之间。值得一提的是，2005年、2007年和2012年的专利申请量均达到或超过20件。这一时期，国内申请人提交了大量专利申请，比如2005年，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司（下称北方微电子）专利申请量为13件，占当年专利申请总量的60%以上。

　　在静电卡盘领域的所有申请人中，中国申请人以65件专利申请排在第一位，占专利申请总量的41.9%。排名第二和第三的是日本和美国申请人，申请量分别为40件和38件，占比分别为25.8%和24.5%，韩国申请人的申请量为10件，占专利申请总量的6.4%，这4个国家占据了静电卡盘领域中国专利申请的绝大部分。值得注意的是，国内申请人的专利申请量虽然多于日美韩，但大部分技术并未在其他国家和地区进行专利保护，而国外申请人的专利申请均是通过《专利合作条约》（PCT）或《保护工业产权巴黎公约》途径进入中国的专利申请，由此可见，国内申请人在国际市场的专利保护意识不强，这也可能与公司的市场定位有关。

　　笔者对静电卡盘领域的专利申请人进行了分析，从上图可以看出，排名前十位的主要申请人的专利申请量共为110件，占该领域专利申请总量的71%，这体现出静电卡盘领域的技术集中性。其中，国内申请人北方微电子、中微半导体以及清华大学分别位列第一位、第五位和第七位（清华大学和日本爱发科、日本住友并列第七位）。北方微电子的专利申请量为38件，优势非常明显。作为国内领先的高端半导体设备制造企业，北方微电子研发的MOCVD等核心产品得到广泛应用，这些产品大都使用了静电卡盘，这也促使北方微电子不断加大在静电卡盘领域的技术研发力度，并持续加强专利布局。2010年之前，北方微电子在该领域的专利申请主要涉及静电卡盘的结构；2010年之后，北方微电子的专利申请主要涉及温度控制、气体传输等方面。温度控制技术是静电卡盘的核心技术，由此可以看出，北方微电子的研究方向已从外围部件向核心技术转移。

　　近十年来，在静电卡盘领域，中国的年专利申请量比较稳定，维持在15件左右。由于静电卡盘产业具有很强的专业性与技术性，在该领域提交专利申请的企业比较集中，中国的申请人主要是北方微电子和中微半导体，美国的申请人主要是美国应用材料和朗姆研究院。从上述分析可以看出，相比美国和日本，中国申请人的专利申请量虽然占优，但领先优势并不明显，中国申请人提交的专利申请有一部分是实用新型专利申请，而国外申请人提交的专利申请大都是发明专利申请，且专利申请的授权率较高。目前，中国出台了一系列政策，大力发展LED产业，笔者建议，国内企业应把握机遇，加强技术创新的同时，在该领域进行比较全面的专利布局，以期获得更好的专利保护，从而占据更大的市场份额。 （知识产权报　作者　高铭洁）